N,N,N′,N′-Тетракис(бутоксиметил)мочевина CAS 43539-97-1 – ультрачистый сшивающий агент для передовой литографии

Характеристики N,N,N′,N′-тетракис(бутоксиметил)мочевины CAS 3089-11-0

Спецификация 1: чистота ≥99,5%, суммарное содержание металлических примесей ≤500 ppb

Спецификация 2: чистота ≥99,9%, содержание отдельной металлической примеси ≤10 ppb

Name	N,N,N′,N′-тетракис(бутоксиметил)мочевина
Номер CAS	43539-97-1
Молекулярная формула	C₂₁H₄₄N₂O₅
Структурная формула
Области применения	Полупроводниковые материалы, фоторезисты, ArF, KrF
Чистота	Класс 1: чистота ≥99,5%, суммарное содержание примесей ≤500 ppb Класс 2: чистота ≥99,9%, содержание отдельной металлической примеси ≤10 ppb
Спецификация упаковки	20 кг/барабан, 25 кг/барабан

Области примененияN,N,N′,N′-тетракис(бутоксиметил)мочевина CAS 3089-11-0

В полупроводниковой микроэлектронике он используется в качестве основного сшивающего агента собственной разработки для высококачественных фоторезистов и сверхтонкой литографии ArF и KrF, отличаясь ультранизким содержанием следовых металлов.

FAQ

Вопрос 1: Насколько низкое содержание металлических примесей в фоторезистах передового уровня?

Ответ: Спецификация высшего уровня обеспечивает содержание отдельного металла ≤10 ppb и суммарное содержание металлических примесей ≤500 ppb.

Вопрос 2: Какая фасовка предусмотрена?

Ответ: Специализированные сверхчистые барабаны для электронной промышленности по 20 кг и 25 кг.

Вопрос 3: Можно ли приложить полный отчёт об элементном анализе методом ICP-MS?

Ответ: Партии класса электронной чистоты сопровождаются подробным отчётом ICP-MS о содержании следовых элементов.